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第386章 超级快充!浸润式光刻模组

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但是投影物镜要是太粗,又会发生全反射现象,紫外光就无法在晶圆上聚焦了。

换而言之,物镜不够粗,芯片性能就不行。

物镜太粗,直接造不出来了。

这个时候,有人提出了一个天才般的想法。

在晶圆上滴一滴水。

水折射率更高,更不容易发生全反射现象。

这样一来物镜就能做的更粗,造出的芯片就更强。

这也就是浸润式光刻机这个名字的由来。

将晶圆用水浸润了嘛。

但这又面临了一个巨大的问题。

晶圆成像时温度会升高,需要流动的水来进行降温。

但在成像过程中,又要求这流动的水能像光学镜头一样光滑,不能有扰动。

出现扰动会怎么样?

晶圆会报废。

所以这“水”,其实不是一般的水。

这个难题,一直都有困扰着腾达研发中心甚至是全世界相关领域的专家。

腾达研发中心虽有进度,但是进度很慢。

当初黎星若向陈腾提出光刻机制造过程中的难点时,也有提到这个问题衍生出来的子问题。

可是现在,系统把这整个模组的技术详解都给了陈腾。

陈腾将原来超级快充技术详解的U盘拔出,把浸润式光刻模组技术详解的U盘插入。

打开里面的内容一看。

很好,陈腾基本上全都看不懂。

不过陈腾却忍不住笑出了声来。

这次啊,真的是赚大了!

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